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UHV Pumpen

Titan-Sublimator

Verdampfungs- resp. Sublimationsgetterpumpen dienen als leistungsfähige Zusatzpumpen im Hoch- und Ultrahochvakuum-Systemen.

 

  • Einsatzbereich 5 x 10-5 bis 10-12 mbar
  • Enddrücke im Bereich bis 10-12 mbar in genügend ausgeheizten Aufbauten
  • Hohes Saugvermögen für chemisch aktive Gase durch Titansublimation
  • Leicht auswechselbare Sublimationsdrähte
   
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