Hochvakuum Ventile werden als Absperrventile zwischen einer Hochvakuumpumpe und einer Vakuumkammer eingesetzt. Die Betätigung erfolgt in den meisten Fällen elektropneumatisch. Zwei elektrische Endschalter melden die offene oder geschlossene Position. Um die Vakuumpumpe vor zu grossen Gasströmungen zu schützen, sind optional auch Ventile mit Drosselung verfügbar. Das bedeutet, dass der Ventilteller auf einer Zwischenposition arretiert werden kann, um den Leitwert zu reduzieren. Bei grossen Gasaufkommen im Prozess wird die gedrosselte Stellung verwendet. Beim zeitkritischen Abpumpen der Kammer wir das Ventil ganz geöffnet, um Wartezeiten zwischen den Chargenwechsel zu reduzieren.
Produktgruppen
HVT
