HSB Baffles

Schutz von Turbopumpen vor frühzeitiger Zerstörung

Häufig kommt es vor, dass in Hochvakuum-Applikationen zur Herstellung komplexer Schichtsysteme kritische Gase oder Gasgemische zum Einsatz kommen, welche von der Hochvakuumpumpe prozessbedingt abgepumpt werden müssen. Vielfach kann nicht verhindert werden, dass solche Gase oder Dämpfe in der Pumpe als Festkörper kondensieren und dadurch die Funktion der Pumpe erheblich beeinträchtigen oder wie im Fall von Turbomolekularpumpen sogar zu deren Zerstörung führen können.

Das HSR Schutzbaffle kondensiert diese schädlichen Gase vor dem Eintritt in die Turbomoleuklarpumpe und schützt dadurch vor Funktionsbeeinträchtigungen oder gar Zerstörung.

Funktion

• wirkt als Bedampfungsschutz für die Turbopumpe
• verlängert die Standzeit der Turbopumpe bei metallischen Abscheidungen

Eigenschaften

• optisch dicht
• maximierter Leitwert
• sehr wartungsfreundlich
• leicht zu reinigen durch den herausnehmbaren Innenteil
• Kühlmedien: Wasser, Flüssigstickstoff, Polycold, Kühlmaschine
• Gehäuse aus rostfreiem Stahl
• Baffle wahlweise aus rostfreiem Stahl oder Kupfer
• erhältlich in den Grössen DN 100 – DN 320

Weitere Anwendungen

• Verwendung als zusätzliche Wasserdampfpumpe durch Kühlung mit Flüssigstickstoff, Polycold oder einer Kühlmaschine