Kryopumpen sind gasbindende Systeme, welche ein Kohlewasserstoff freies Vakuum im Bereich 10-2 mbar bis 10-11 mbar erzeugen. Sie sind so konstruiert, dass immer das ganze Spektrum an Gasen gepumpt wird. Nebst der Standardlösung bieten wir diverse Serien und Ausführungen an, welche auf spezifische Prozesse optimiert sind.
Die Kryopumpen der HSR AG sind bekannt für ihre hervorragenden Leistungsdaten und ihre Zuverlässigkeit im Einsatz. Lange Betriebszeiten zwischen den erforderlichen Regenerationen und kurze Regenerationszeiten sorgen für einen reibungslosen Betrieb mit wirtschaftlichen Kosten.
HSR-Pumpen finden in einer Vielzahl von Anwendungsgebieten Verwendung, darunter:
- PVD Dünnfilm Beschichtungsanlagen (Sputter- und Metallverdampfungsprozesse)
- Vakuumkammern für Weltraumsimulation
- Testreaktoren für Kernfusion
- Teilchenbeschleuniger in der Grundlagenforschung
- Teilchenbeschleuniger zur Produktion von Isotopen für die Nuklearmedizin
Für Projekte mit speziellen Anforderungen (Umgang mit Strahlung, Magnetfelder oder Betrieb im Ultrahochvakuum ) wenden Sie sich direkt an unser Vertriebsteam.
Produktgruppen
VCP
VELCO
